生產(chǎn)高質(zhì)量的電子顯微鏡,須作非常精確的設計
顯微鏡較重要的特性是其分辨能力。分辨能力的定義是,顯
微鏡能提供清晰客的兩點(diǎn)間的較小距離,這些象雖有部分重疊,
但在充分大的放大率下仍能辨明而確定無(wú)疑。對于光學(xué)顯微鏡,
顯微鏡放大率可表示為物鏡放大率與目鏡放大率的乘積。但是,
放大能力應與物鏡的分辨能力相適應。不論目鏡放大率多大,只要
兩個(gè)相鄰點(diǎn)已預先用物鏡在中間象中分辨出來(lái),它就能加以分辨。
同光學(xué)顯微鏡一樣,聚光透鏡使電子束集中射到試樣上。由于
其結構上的原因,試樣(應該很薄)使電子柬得到調制。此外,
物鏡產(chǎn)生放大約100---300倍的初象。較后,一部分中間象被投影
透鏡放大在熒光屏或照相片上。在各個(gè)透鏡前面,都有限制射束
立體角的光闌.電子從燈絲到熒光屏的整個(gè)軌跡和試樣都在真空中,
以消除電子衰減和散射。試樣照明隨光闌和通
過(guò)聚光透鏡的電流而改變,而放大率則隨通過(guò)物鏡和投影透鏡的
電流而改變.
為了生產(chǎn)高質(zhì)量的電子顯微鏡,必須作非常精確的設計。例
如,進(jìn)行顯微鏡豎筒的機械設計時(shí)所需的精度是,在大于lm的
長(cháng)度內,各種子組件的同心度應能達到幾十微米。另一個(gè)重要的
要求是電參數的穩定性,因為終象是用照相的方法得到的。雖然
顯微鏡的瞬時(shí)工作性能可能很高,但曝光時(shí)象的位置或大小的任
何變化都會(huì )降低質(zhì)量。
透射電子顯微鏡的一個(gè)特性是電子束的穿透本領(lǐng)低,因而用
它來(lái)研究表面時(shí)已產(chǎn)生了問(wèn)題.為了克服這種缺點(diǎn),要用表面復
制模。引用這種中間工序,具有下面幾個(gè)缺點(diǎn)
(a)由于其厚度小會(huì )引起脆化,復制模必須支承在柵極止。
這意味著(zhù)這種復制模部分地被不透明的柵條所屏蔽;
(b)制造復制模時(shí)用到的多道工序會(huì )改變其分辨能力;
(c)不管制造復制模時(shí)多么仔細,這層膜再現表面細節的